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    Localization of Key Materials of "China Core"

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    Electronic Special Gases
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    Trisilylamine （TSA）
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    Trisilylamine （TSA）
    • Chinese Name：三甲硅烷基胺
    • English Name：Trisilylamine (TSA)
    • CAS Number：13862-16-3
    • Application：Silicon oxide is formed by flowable chemical vapor deposition (FCVD)
    • Product Grade：99.65%
    • Package Size：Kg
    Diisopropylaminosilane （DIPAS）
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    Diisopropylaminosilane （DIPAS）
    • Chinese Name： 二异丙氨基硅烷
    • English Name：Diisopropylaminosilane (DIPAS)
    • CAS Number：908831-34-5
    • Application：Seed Formation
    • Product Grade：8N
    • Package Size：Kg
    Titanium tetrachloride （Ticl4）
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    Titanium tetrachloride （Ticl4）
    • Chinese Name：四氯化钛
    • English Name：Titanium tetrachloride (Ticl4)
    • CAS Number：7550-45-0
    • Melting Point：-25℃
    • Boiling Point：135 - 136 °C
    • Vapour Pressure：12.8 hPa at 20 C.
    • Product Grade：6N
    • Package Size：15kg
    Tetraethoxysilane （TEOS）
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    Tetraethoxysilane （TEOS）
    • Chinese Name：四乙氧基硅烷
    • English Name：Tetraethoxysilane (TEOS)
    • CAS Number：1978-10-4
    • Melting Point：-82.49℃
    • Boiling Point：168°C
    • Vapour Pressure：10.0 hPa at 20℃
    • Product Grade：9N
    • Package Size：17.7kg、35kg、200kg
    Bis(diethylamino)silane （BDEAS）
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    Bis(diethylamino)silane （BDEAS）
    • Chinese Name： 双（二乙氨基）硅烷
    • English Name：Bis(diethylamino)silane (BDEAS)
    • CAS Number：27804-64-4
    • Melting Point：＜-10℃
    • Boiling Point：188℃
    • Product Grade：5N
    • Package Size：10kg
    Hexachlorodisilane （HCDS）
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    Hexachlorodisilane （HCDS）
    • Chinese Name：六氯乙硅烷
    • English Name：Hexachlorodisilane
    • CAS Number：13465-77-5
    • Boiling Point：144 - 145.5℃
    • Product Grade：6N
    • Package Size：13kg
    Octamethyl cyclotetrasiloxane (OMCTS)
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    Octamethyl cyclotetrasiloxane (OMCTS)
    • Chinese Name：八甲基环四硅氧烷
    • English Name：Octamethyl cyclotetrasiloxane (OMCTS)
    • CAS Number：556-67-2
    • Melting Point：17-19℃
    • Boiling Point：175-176℃
    • Vapour Pressure：1 mmHg (21.7℃)
    • Product Grade：7N5
    • Package Size：10kg、18kg、200kg
    Tetramethylsilane （4MS）
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    Tetramethylsilane （4MS）
    • Chinese Name：四甲基硅烷
    • English Name：Tetramethylsilane(4MS)
    • CAS Number：75-76-3
    • Melting Point：-99℃
    • Boiling Point：26-28℃
    • Product Grade：7N5
    • Package Size：10kg、20kg、110kg、125kg
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